深圳市德?tīng)栔评湓O備工程有限公司是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)和安裝服為一體的專(zhuān)業(yè)冷水機工業(yè)設備制冷和新風(fēng)空調凈化制冷的企業(yè)。
無(wú)塵車(chē)間凈化工程
在一定空間范圍內,將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內的工程學(xué)科。凈化工程所特別設計的房間,不論外在空氣條件如何變化,室內均具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。
作用
控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設計施工過(guò)程即可稱(chēng)為凈化工程。
分類(lèi)
亂流式 (Turbulent Flow)
空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內之空氣過(guò)濾器(HEPA) 進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板 回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。 優(yōu)點(diǎn):構造簡(jiǎn)單、系統建造成本低,潔凈室的擴充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無(wú)塵工作臺,提高潔凈室等級。 缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。
層流式(Laminar)
層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)型,空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種: (1)水平層流式:水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。 優(yōu)點(diǎn):構造簡(jiǎn)單,運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。 缺點(diǎn):建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。 (2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?煽焖倥懦鍪彝舛粫(huì )影響其它工作區域。 優(yōu)點(diǎn):管理容易,運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點(diǎn):構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過(guò)濾器較麻煩。
復合式(Mixed Type):
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。 (1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。 潔凈隧道另有二項優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴充容易; B.維修設備時(shí)可在維修區輕易執行。 (2)潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。 (3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產(chǎn)品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。
局部潔凈工程
潔凈工作臺:等級Class 1~100級。 潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風(fēng)機組而成為一較高級之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動(dòng)輪,可為彈性運用。
空氣潔凈度等級標準及規范
經(jīng)濟和科技發(fā)達的國家和地區都有自己的空氣潔凈標準和規范標準,都規定了有關(guān)的潔凈度等級,例如美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布《潔凈廠(chǎng)房設計規范》(GBJ73-84),1996年該規范進(jìn)行了較大的修改,1990年頒布《潔凈室施工及驗收規范》(JGJ71-90)以指導施工和驗收的重要文件。目前,該規范在重新修訂中。 GBJ73-84規定的潔凈度等級 等級 每立方米(升)空氣中》0.5μm塵粒數 每立方米(升)空氣中》5μm塵粒數
100 《35*100(〈3.5〉
1000 《35*1000(〈35〉 《250(〈0.25〉
10000 《35*10000(〈350〉 《2500(〈2.5〉
100000 《35*100000(〈3500〉 《25000(〈25〉
美國聯(lián)邦標準FS209E中的潔凈等級 等級名稱(chēng) 等級限值
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm
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