適用于真空噴涂工業(yè)

Alicat的MCV質(zhì)量流量控制器是根據真空涂層和噴濺過(guò)程中所要求快速關(guān)閉功能而設計的。一個(gè)啟動(dòng)截止閥是常閉的，并且保證一個(gè)大氣壓下氦氣泄露為1 x 10^-9下有效的關(guān)閉。
    MCV質(zhì)量流量控制器采用的是與其他alicat產(chǎn)品一樣的層流差壓式技術(shù)。在速度和精度需要計算時(shí)，MCV所體現的完美的精度和響應時(shí)間。
    Alicat 的MCV可以在響應時(shí)間為50-100ms的條件下控制從0.5sccm的小流量到20slpm的大流量-響應時(shí)間可以大大的改良你的終產(chǎn)品，并且幫助排除誤差。
    每個(gè)MCV都是預先設定的30種校準氣體和顯示質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度。Alicat的MCV也可以直接通過(guò)設備的按鍵或者RS-232來(lái)編程設定，使用RS-232可以通過(guò)一對線(xiàn)串聯(lián)多26臺設備。
    MCV供電電壓為12-30Vdc，單一輸入和輸出暴漏0-5Vdc。0-10Vdc、4-20mA和RS-232（可選PROFIBUS）