001 ， 002 和 003A 型質(zhì)量流量控制閥門(mén)都是常閉的比例控制閥門(mén)，可應用在從 0-5sccm 到 0-500 slpm 氮氣量程中。當它與質(zhì)量流量計結合使用時(shí)，就可構成一個(gè)閉合回路控制系統 , 該系統允許單獨組件配置（流量計和控制閥門(mén)）。
001 型， 002 型， 003A 型 質(zhì)量流量控制閥門(mén)技術(shù)參數
流量范圍* ：從 0-5SCCM 到 0-500SLPM
環(huán)境和操作溫度 ： -10 ～ 70 ℃（ 14 ～ 158 ℉）
操作壓力： 1000PSIG （ 6.9 MPa ） ，具體請參考表一
安裝方向 ：對位置不敏感
額定工作電壓 ： 4-11VDC （ 24VDC ）
額定工作電流 ： 150mADC （ 275 mADC ）
閥線(xiàn)圈電阻 ： 80 ± 4 Ω（ 001型和003A型） ； 63 ± 3 Ω（ 002型）
重 量 ：請參考表一
結構材質(zhì)
主體： 316 不銹鋼
孔： 316 不銹鋼
閥組件（接液）： 001 型： 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802
002 型： 302SS ， 316SS ， Sandvik1802
003A 型： 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik1802
密封材質(zhì)（” O ”型環(huán)和閥座）： 001 型： Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton
002 型： Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton
003A 型： Buna N ， Viton
* 注：上述流量范圍反映的是氮氣標定下產(chǎn)生的小流量和流量，可采用其它介質(zhì)的流量范圍，當操作參數有疑問(wèn)時(shí)為了保證選型，請咨詢(xún)廠(chǎng)家。

表 一