電子廠(chǎng)加濕設備1595 次潔凈室內相對濕度控制的必要性 [2006-11-28]這些年里,在這些規定范圍中保持處理空氣過(guò)程,使我們必需承擔資金和營(yíng)運費用。但是為什么值得花費這么多錢(qián)用在潔凈室中控制相對濕度呢?
相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類(lèi)感覺(jué)舒適的適度范圍。濕度過(guò)高會(huì )使人覺(jué)得氣悶,而濕度低于30%則會(huì )讓人感覺(jué)干燥,皮膚皸裂,呼吸道不適以及情感上的不快。
相對濕度是潔凈室運作過(guò)程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件。半導體潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內,允許誤差在±1%的狹窄的范圍內,例如光刻區──或者在遠紫外線(xiàn)處理(DUV)區甚至更小──而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內。
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● 細菌生長(cháng);
● 工作人員感到室溫舒適的范圍;
● 出現靜電荷;
● 金屬腐蝕;
● 水汽冷凝;
● 光刻的退化;
● 吸水性。
細菌和其他生物污染(霉菌,病毒,真菌,螨蟲(chóng))在相對濕度超過(guò)60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過(guò)30%時(shí)就可以增長(cháng)。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí),可以使細菌的影響以及呼吸道感染降至。
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